飛納臺式掃描電子顯微鏡

Phenom XL G3  臺式大倉室自動化掃描電鏡質量控制自動化，多功能臺式掃描電鏡

 臺式大倉室自動化掃描電鏡

80 年電鏡技術傳承

從飛利浦、FEI到賽默飛，源自*電鏡的成熟設計與制造工 藝，穩定可靠

無需改實驗室 - 省錢省空間

不挑安裝環境，內置減震系統，可直接放置于生產車間、高樓層 QC實驗室等

面向工業 4.0 的自動化與 AI 智能掃描電鏡

開放編程接口，打造定制化的“黑燈實驗室"檢測流程，支持 Maps 地 圖式多模態、多維度自動拼圖及關聯

平均 5 年更換燈絲

 3000h CeB6  晶體燈絲，減少維護頻率和降低使用成本，讓產線 或實驗室長期穩定運行無憂

低電壓成像功能

對于不導電、導電性差、以及電子束敏感樣品，不噴金，仍具有 很好的成像能力

電鏡能譜一體化設計 - 服務全包，省心省力

簡化采購流程，統一售后服務。軟件和硬件深度兼容，無需切換軟件。 ChemiSEM彩色成像,實時能能譜面掃、相分析、大面積能譜拼圖等 

80 年電鏡技術傳承

飛納電鏡從飛利浦到賽默飛，歷經近 80 年技術沉淀，從最初的構想與商業化，到不斷的技術創新與突破，始終在電子顯微鏡領域保持領（ling）先地位。

 1      飛利浦時期（1939-1996）

•    起源：1939  年，Le  Poole  提出電子顯微鏡構想，1944  年成功開發  150kV 電子顯微鏡，奠定技術基礎。

•    發展：1949   年推出第一臺商業化電鏡   EM100。后續不斷推出創新產品，如 1972 年進入 SEM 市場，推出 PSEM500。 

 2     FEI 時期（1996-2016）   

•  合并：1997年，飛利浦電子光學業務與FEI合并，獲得 ESEM 技術，技術實力增強。 

•  創新：2006年推出臺式掃描電鏡飛納（Phenom），放大倍數  10000  倍，使用  1500h  長壽命  CeB6    燈絲。

2013 年推出第三代產品，分辨率 17nm，放大倍數 100000 倍。 

 3    賽默飛時期（2016-至今） 

•  收購：2016 年，FEI 被賽默飛收購，2018 年 Phenom World 更名為 Thermo Scienti?c 品牌。

•   傳承與發展：技術上繼承 FEI 創新成果，繼續提升性能，目前除了 CeB6 燈絲系列，還有臺式場發射電鏡系列，公安法醫等 特定領域專用電鏡，產品線豐富，型號達數十種。

 平均 5 年更換燈絲

擁有超長壽命核心部件，采用 3000 小時高亮度六硼化鈰（CeB6）燈絲，平均 5 年更換燈絲，確保設備 7×24 小時連續運行，減 少維護頻率和持有成本，讓產線或實驗室長期穩定運行無憂。

不挑安裝環境，內置減震系統，可直接放置于生產車間、高樓層  QC  實驗室等，甚至可以車載，野外場景使用。節省實驗室改造 費用，真正做到“買得起，更能用得好"。

飛納電鏡曾經參與冰島火山口、西班牙無人島等科學研究項目，是適用于惡劣環境的便攜掃描電鏡。科研人員采集樣本回到帳篷 中，利用飛納電鏡來確定樣本的化學構成，極大地提高了樣本采集和分析的效率。

低電壓成像功能 

PhenomXL G3 配備了全新升級真空設計和背散射探測器 (BSD)，優化了低電壓下的靈敏度，提升了總體的信噪比 (S/N)，對于不 導電、導電性差、以及電子束敏感樣品，可以使用更低的束流進行拍攝，提升分辨率的同時，降低荷電效應帶來的影響。

由于整體信噪比的提升，我們可以使用更短的采集時間采集同樣質量的照片，在自動化工作流程中，高通量照片拍攝的總效率平均提升 30%。

太陽能電池金字塔結構

 放大倍數：10,000X

 2kV，未噴金，二次電子像

 可以清晰看到金字塔結構和細節

電子陶瓷

 放大倍數：1,000X

 5kV，背散射電子像

 可以觀測到陶瓷內晶粒大小和空隙 

CMOS 探測器

 放大倍數：5,000X

 2kV，二次電子像

 可以清晰看到像素單元及其表面污染物

掃描電鏡下未噴金的纖維（上圖），未噴金的紙張（下圖）

面向工業 4.0 的自動化與 AI 智能掃描電鏡

從裝樣到出圖，僅需 1 分鐘，高測試效率，操作員無需漫長等待，檢測通量比傳統電鏡提升 5-10 倍，極大加速了 QC 判斷和研發迭代。

  強大的拓展軟件

從“看"到“算"：專業的自動化分析軟件，ParticleMetric   (顆粒統計)、Fiber- Metric (纖維統計) 等專用軟件。自動化完成需要人工數小時才能完成的顆粒 度、形貌、尺寸分布等統計工作，輸出標準化報告，實現真正的量化品控。

  開放編程接口，打造定制化檢測流程

“深度集成，隨需而變"：開放的自動化接口，提供 Python 腳本控制 (PPI)，可以無 縫集成到客戶現有的自動化產線和 LIMS 系統中。精準的自動化馬達臺，結合軟件 腳本，一次可容納 36 個樣品，打造“無人值守的質檢工廠"，自定義設定程序，在夜 間或休息時間對大批量樣品進行自動拍照和分析，提高設備利用率。

  一 張圖看全貌，多點分析無遺漏

在晶圓、濾膜、金屬斷口等大樣品上，自動獲取全景高清圖，并對預設的關鍵點位進行高倍率分析，確保檢測。

電鏡能譜一體化設計 - 服務全包，省心省力

簡化采購流程，統 一 售后服務。軟件和硬件深度兼容，無需切換軟件，提高研究效率。ChemiSEM彩色成像,實時能能譜面掃、相分 析、大面積能譜拼圖等

ChemiSEM 彩色成像技術

EDS   能譜儀在電鏡工作時始終在后臺收集成分數據，利用算法同時處理   BSE   和  EDS 信號，從而可以實時顯示樣品的形態和定量元素分布結果。簡化對金屬、陶瓷、 電池、涂層和軟材料等多種材料的復雜分析。

  ChemiPhase 物相分析軟件

飛納電鏡 ChemiPhase 物相分析軟件是 ChemiSEM 技術中一種新型物相鑒定和定 量表征手段，旨在通過結合*的統計分析和 ChemiSEM SEM-EDS 平臺來識別物相，并識別成分列出其面積分數，從而應對這些挑戰。

  Phenom MAPS 大面積圖像拼接

通過層級的方式，實現對樣品的拍攝與數據回看。Phenom MAPS 提供的是一個涵 蓋所有樣品信息的數碼存檔，從宏觀到微觀無所不包，變革了傳統掃描電鏡的 分析與數據存儲模式。并且，多圖層數據可以包含能譜。 

  從元素到材料的飛躍：相分布圖 (Phase Mapping)

專有的在線相分析軟件模塊 (Phase Mapping) ，利用強大的算法，根據每個像素點的元素定量結果，自動識別、分類并標定出不同的 “相"或“化合物"。

規格參數

成像模式

• 光學顯微鏡：放大倍數：3 - 16 x

•  電子顯微鏡：放大倍數：200,000 x

照明

• 光學：明場和暗場模式

•  電子光學：長壽命、高亮度的 CeB6 燈絲

• 加速電壓： 基本模式：2 kV, 5 kV, 10 kV, 15kV 和 20kV

高級模式：4.8  kV - 20.5  kV 連續可調，用 于成像和元素分析

• 真空水平：低-中-高三種模式 優于 8 nm

• 分辨率： 優于 8 nm

• 抽真空時間：30s